AMASS

Características

Principais recursos do AMASS

O AMASS Basic apresenta todas as funções, exceto a simulação e o ajuste automático.

• Nova interface gráfica do usuário intuitiva.
• Formato de documento orientado ao projeto para armazenar, recuperar e gerenciar todas as informações de uma sessão de trabalho, incluindo análises abertas, dados simulados, todos os parâmetros definidos e parâmetros de material usado.
• Gráficos para análises únicas, mapas de área e mapas de wafers.
• Possibilidade de mesclar conjuntos de dados de 1 e 2 eixos.
• Projeção e extração de exames de 2 eixos para gerar exames de 1 eixo para análise posterior.
• Pesquisa automática de pico em dados de 1 eixo (como curvas de oscilação) e 2 eixos (como mapeamento de espaço recíproco).
• Rotulagem automática de pico de substrato, várias camadas e franjas.
• Extração automática de linhas horizontais e verticais em posições de pico rotuladas de dados de 2 eixos.
  
• Materiais de qualquer grupo de espaço são compatíveis.
• As estruturas de amostra incluem gradientes, supercelas e parâmetros vinculados.
• O software extrai deformação e relaxamento, incompatibilidade e composição, orientação e curvatura de corte incorreto do substrato, propagação de mosaico de camadas e comprimento, espessura e supercelas de sobreposição de correlação lateral a partir de posições do pico rotuladas.
• Determinação da espessura a partir de dados de refletividade especular por meio de Fourier e método direto.
• Um mapa de wafers pode ser criado pela análise de qualquer conjunto de tipos de exames. Isso inclui a análise direta dos parâmetros e das posições do pico, bem como o ajuste automático (se a opção estiver disponível).
• O AMASS suporta dados nos formatos XRDML, ASCII simples (*.asc) e nos formatos Philips antigos (*.dnn, *.xnn, *.ann e *ynn).
• Relatórios de resultados personalizáveis. Suporte a relatórios PDF, RTF, XML e HTML.
• Todas as análises podem ser totalmente automatizadas usando uma interface de linha de comando. Quando controlado pelo APP (automatic processing program, programa de processamento automático), é possível a automação de todo o processo desde a medição até ao relatório de resultados.
• Interface COM (Component Object Model) para operar recursos AMASS de aplicações como Phyton^TM ou Matlab^®.
  
• Opção de dois algoritmos de ajuste: permitindo que os usuários adaptem o software para requisitos de ajuste exclusivos. (somente para as opções)
• Análise de confiança para cada parâmetro de um determinado modelo de amostra. O resultado dessa análise é uma medida da faixa de confiabilidade do parâmetro refinado. (somente para as opções).
• Opção HR:
  • Ajusta as curvas de oscilação simuladas aos dados medidos
  • As camadas podem estar parcialmente relaxadas em relação à camada abaixo.
  • As orientações não polares de superfície a e plano m de estruturas wurtzite são totalmente compatíveis.
• Opção XRR:
  • Ajusta as curvas de refletividade simuladas aos dados medidos.
  • Os materiais no modelo podem incluir aqueles com parâmetro de cela ou gradientes de densidade com cinco opções para o tipo de gradiente.
  • Três opções para o modelo de rugosidade da interface estão disponíveis para análise fora do espectro: fractal, staircase e castellation.
  • Os dados de dispersão fora do espectro (difuso) (verificações ômega, 2theta e ômega/2theta de deslocamento) podem ser exibidos e simulados. O software simula os mapeamentos de espaço recíproco Qx, Qz, além de Qx e Qy.

Banco de dados de materiais 

O extenso banco de dados de materiais contém todos os dados de materiais necessários para uso na análise de curva de oscilação, mapeamento de wafers, simulação e ajuste: parâmetros de células unitárias, proporções de Poisson e coeficientes de rigidez de cristal único para alguns óxidos selecionados e todos os materiais semicondutores compostos cúbicos comuns, além de GaN hexagonal, AlN e InN. Além disso, ele contém os números atômicos elementares e massas, bem como os coeficientes de absorção de massa e dispersão anômala para diferentes comprimentos de onda fixos de raios X. O banco de dados é extensível pela adição de novas estruturas de qualquer grupo de espaço e materiais e valores para outros comprimentos de onda. As informações e os materiais da estrutura do cristal podem ser importados do CIF (Crystallographic Information Files, arquivos de informações cristalográficas).

Documentação do usuário

O guia de aplicações destina-se a ajudar você a usar o AMASS com rapidez e eficiência. Cada um dos 12 tópicos fornece exemplos trabalhados. Esses exemplos foram escolhidos para demonstrar a funcionalidade mais importante do AMASS. 

Faça download do Guia de aplicações

Especificação

Versão atual	2,0