AMASS

층상 구조의 X선 산란 데이터에 사용되는 분석 툴박스

고급 재료 분석 및  시뮬레이션 소프트웨어(AMASS)는 층상 구조의 X선 산란을 표시, 분석, 시뮬레이션 및 피팅하기 위한 종합적 기능을 제공합니다. AMASS는 로킹 곡선, 2축 스캔, 얇은 이종 에피텍시층의 역격자 공간 맵, 특히 단결정 및 거친 질감의 박막 샘플뿐만 아니라 X선 반사 측정 데이터 및 임의 다층 구조의 비거울형(확산) 산란 데이터를 지원합니다. 소프트웨어는 불일치 및 이완, 조성 및 층 두께, 밀도, 거칠기 등과 같은 다양한 핵심 정보를 제공합니다. 일반 사용자도 이러한 필수 박막 층 매개변수를 쉽고 빠르게 정량화할 수 있습니다. 

AMASS Basic에서 이 기능을 제공하며 HR (고분해능) 및 XRR (X선 반사) 시뮬레이션 및 피팅 옵션으로 확장할 수 있습니다.

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특징

AMASS의 주요 기능


AMASS Basic은 시뮬레이션 및 자동 피팅을 제외한 모든 기능을 갖추고 있습니다.

  • 새롭고 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스.
  • 오픈 스캔, 시뮬레이션 데이터, 모든 매개변수 세트 및 사용된 재료 매개변수를 포함하여 작업 세션의 모든 정보를 저장, 검색 및 관리하기 위한 프로젝트 중심의 문서 형식.
  • 단일 스캔, 영역 맵 및 웨이퍼 맵을 위한 그래픽.
  • 1축 및 2축 데이터 세트 병합 가능.
  • 2축 스캔에서 투영 및 추출하여 향후 분석을 위한 1축 스캔 생성.
  • 1축(예: 로킹 곡선) 및 2축 데이터(예: 역격자 공간 맵)에서 자동 피크 검색.
  • 기질, 다층 및 프린지의 자동 피크 라벨링.
  • 2축 데이터의 라벨링된 피크 위치에서 자동 수평 라인 및 수직 라인 추출.
  • 모든 공간 그룹의 재료 지원.
  • 샘플 구조는 구배, 초격자, 연결된 매개변수 포함.
  • 소프트웨어는 라벨링된 피크 위치에서 변형 및 이완, 불일치 및 조성, 기질 절단 오류 방향 및 곡률, 층 모자이크 확산 및 측면 상관 길이, 두께 및 초격자 주기를 추출.
  • 푸리에 및 직접 방식을 통해 거울형 반사 데이터에서 두께 결정.
  • 웨이퍼 맵은 모든 스캔 유형의 분석을 통해 생성 가능. 여기에는자동 피팅(옵션이 있는 경우)뿐만 아니라 피크 매개변수 및 피크 위치의 직접 분석 포함.
  • AMASS는 XRDML 형식의 데이터, 단순 ASCII 형식(*.asc) 및 기존 Philips 형식(*.dnn, *.xnn, *.ann 및 * ynn) 지원.
  • 맞춤형 결과 보고. PDF, RTF, XML, HTML 보고서 지원.
  • 명령줄 인터페이스를 사용하여 모든 분석을 완전 자동화. APP(자동 처리 프로그램)로 제어하여 측정에서 결과 보고까지 전체 프로세스를 자동화.
  • PhytonTM 또는 Matlab® 등의 응용 프로그램에서 AMASS 기능을 작동할 수 있는 COM(Component Object Model) 인터페이스.
  • 두 가지 피팅 알고리즘 선택: 사용자가 고유한 피팅 요구 사항에 맞게 소프트웨어 조정 가능. (옵션만 해당)
  • 해당 샘플 모델의 각 매개변수에 대한 신뢰도 분석. 이 분석의 결과는 정밀화된 매개변수의 신뢰성 범위를 측정한 것입니다. (옵션만 해당).
  • HR 옵션:
    • 시뮬레이션된 로킹 곡선을 측정 데이터에 피팅.
    • 층들은 아래 레이어에 대해 부분적으로 이완.
    • wurtzite 구조의 무극성 a- 및 m-평면 방위 지원.
  • XRR 옵션:
    • 시뮬레이션된 반사율 곡선을 측정 데이터에 피팅.
    • 모델의 재료는 격자 파라미터나 밀도 구배를 가진 재료가 포함될 수 있으며 다섯 가지 구배 유형을 선택할 수 있습니다.
    • 비거울형 분석의 계면 거칠기에 fractal, staircase 및 castellation의 세 가지 옵션을 선택할 수 있습니다.
    • 비거울형(확산) 산란 데이터(omega, 2theta 및 offset omega/2theta 스캔)를 표시하고 시뮬레이션할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 공면 Qx, Qz와 비공면 Qx, Qy 역격자 공간 맵을 시뮬레이션합니다.

재료 데이터베이스 

광범위한 재료 데이터베이스는 로킹 곡선 분석, 웨이퍼 매핑, 시뮬레이션 및 피팅에 사용할 수 있는 모든 필수 재료 데이터(단위 셀 매개변수, 포아송 비, 선택된 일부 산화물에 대한 단일 결정 강성 계수, 모든 일반 입방 화합물 반도체 재료, 육각 GaN, AlN 및 InN)를 포함합니다. 또한 원소의 원자 번호와 질량뿐만 아니라 여러 고정 X선 파장에 대한 질량 흡수 및 이상 분산 계수도 포함합니다. 데이터베이스는 모든 공간 그룹의 새 구조와 다른 파장의 재료 및 값을 추가하여 확장할 수 있습니다. 결정 구조 정보 및 물질을 결정학적 정보 파일(CIF)에서 가져올 수 있습니다.

사용 설명서

활용 설명서는 AMASS를 빠르고 효율적으로 사용하는 데 도움을 주기 위해 작성되었습니다. 12개 주제 각각은 작업 예시를 제공합니다. 이 선택된 예시는 AMASS의 가장 중요한 기능을 시연합니다. 

활용 설명서 다운로드

사양

권장 시스템 구성:

Windows 10(64비트) 및 Windows 11(64비트) Current Branch for Business 운영 체제에서 실행하도록 설계되었습니다.

원하는 Windows 운영 체제의 (최소) 하드웨어 요구 사항과 일치하는 PC 구성이면 충분합니다.

현재 버전 2.0