박막의 두께 및 조성 분석
박막 및 적층 소재를 흔히 사용합니다. 또한 보석, 코팅 강철 또는 기타 금속에서 집적 회로까지 다양한 분야에 걸쳐 사용되고 있습니다. 박막과 다층막 생산 시 두께와 조정의 정밀한 제어가 필수입니다.
비파괴 검사와 뛰어난 재현성을 결합한 XRF는 박막 조성과 두께 분석을 위한 매우 가치 있는 기법입니다. XRF를 통한 두께 측정의 재현성은 ±1Ångstrom 수준으로 사용할 수 있습니다.
전통적으로 박막 분석을 위한 XRF 보정 프로세스는 다층막 구조용으로 매우 까다롭습니다. 일반적으로 분석할 시료와 유사한 구조 및 조성을 가진 보정 샘플이 필요합니다. 이러한 보정 샘플은 일반적으로 비용이 많이 들고 구하기 어려운 경우가 많습니다.
추가로 Stratos는 XRF 보정 프로세스의 융통성을 크게 단순화 및 개선함으로써 박막 계측 공정에서 XRF의 가치를 더욱 높여줍니다. Stratos는 알려지지 않은 것과 다른 교정 시료를 사용할 수 있게 하며 박막 및 다층막 분석을 보정하기 위해 대량 물질을 사용할 수 있게 합니다.
Stratos는 복잡한 구성에 대한 XRF 반응을 시뮬레이션할 수 있는 가상 분석기를 포함하고 있으며, 이는 레이어와 관련된 두께 및 농도 수준의 편차 측정에서 어느 형광 라인 사용이 가장 적합한지를 보여줍니다.
이렇게 하면 박막 분석을 위한 방법 설정이 크게 간소화됩니다.
Stratos 모듈은 Zetium, Axios 또는 MagiX 및 Epsilon 탁상용 제품군을 포함한 Malvern Panalytical XRF 장비에 대한 소프트웨어 라이선스로 구성되어 있습니다. Omnian과 완벽하게 결합할 수 있습니다.
Omnian이 설치된 시스템의 경우Stratos를 사용한 박막 분석에 직접 Omnian 설정을 사용할 수 있습니다.
Omnian이 설치되지 않은 시스템의 경우 Omnian 셋업 샘플은 Stratos를 설정하는 데 사용할 수 있습니다.
SuperQ 또는 Epsilon 소프트웨어를 실행하는 기존 장비에 새로 장착하는 것은 물론 새로운 시스템에 이 모듈을 제공할 수 있습니다.
