El analizador de láminas 2830 ZT de fluorescencia de rayos X con dispersión de longitud de onda (WDXRF, por sus siglas en inglés) ofrece la capacidad más reciente para medir el grosor y la composición de películas. Diseñado específicamente para la industria de semiconductores y de almacenamiento de datos, el analizador de láminas 2830 ZT permite determinar la composición, el grosor, los niveles de dopaje y la uniformidad de la superficie de las capas para una amplia gama de láminas de hasta 300 mm.
Descargar folletoEl tubo de rayos X SST-mAX de 4 kW cuenta con la innovadora tecnología ZETA, que elimina los efectos de envejecimiento del tubo de rayos X. El rendimiento de este "nuevo tubo" se mantiene durante toda la vida útil del producto y, junto con una alta sensibilidad, la tecnología ZETA garantiza que se conserve el análisis rápido y los tiempos breves de medición durante toda la vida útil del tubo. La tecnología ZETA reduce sólidamente la necesidad de corregir y recalibrar las desviaciones, lo que aumenta la productividad y el tiempo de actividad del instrumento.
Los tubos de rayos X convencionales sufren la evaporación del tungsteno, lo que generar depósitos dentro de la ventana de berilio del tubo. La instrumentación con dichos tubos de rayos X requiere corregir la desviación regular para compensar la reducción de intensidad, especialmente para los elementos ligeros.
La implementación del tubo SST-mAX en el 2830 ZT resuelve este problema de desviación, lo cual aumenta el tiempo de actividad y mantiene la precisión del instrumento en el tiempo.
El 2830 ZT es suministrado con el software avanzado SuperQ, que incluye FP Multi, el paquete de software diseñado específicamente para el análisis de varias capas. La interfaz de usuario del software garantiza que incluso los operadores sin experiencia puedan realizar análisis de parámetros fundamentales completamente automatizados de varias capas.
El software SuperQ del instrumento tiene una amplia gama de módulos de uso sencillo, diseñados para una operación flexible por parte de investigadores e ingenieros. Realizar el cambio entre recetas es fácil, al igual que ajustar los parámetros del equipo para adaptarse a las preferencias del usuario.
El FALMO-2G se integra fácilmente en cualquier laboratorio o fábrica: desde la carga manual simple de soportes hasta la automatización completa. Un diseño completamente flexible permite al gerente de la fábrica seleccionar entre contenedores unificados de apertura frontal (FOUP, por sus siglas en inglés), interfaces mecánicas estándar (SMIF, por sus siglas en inglés) o puertos de carga de cartucho abierto, con una configuración de puerto simple o dual. Las diversas configuraciones del FALMO-2G son todas compatibles con software que cumpla con GEM300. La necesidad de espacio del FALMO-2G se ha minimizado, sin comprometer la flexibilidad ni la funcionalidad.
El software SuperQ del instrumento tiene una amplia gama de módulos de uso sencillo, diseñados para una operación flexible por parte de investigadores e ingenieros. Realizar el cambio entre recetas es fácil, al igual que ajustar los parámetros del equipo para adaptarse a las preferencias del usuario.
| Tamaño de muestra | Láminas de 100 a 300 mm con carga directa; los tamaños más pequeños se pueden manejar con adaptadores especiales |
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| Tipos de muestras | Opciones de carga de FOUP, SMIF, cartucho abierto y manual disponibles |
| Rendimiento | Rendimiento de hasta 25 láminas por hora |
| Compatibilidad de sistema |
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| Rango de tamaño | Tamaño de punto de medición de 40 y 10 mm; es posible tener otros tamaños de punto | |
| Tecnología | Tecnología Zeta |
| Canales | Hasta 24 canales fijos
Máx. 2 goniómetros Canal Boron de rendimiento ultraalto para una mayor sensibilidad y más productividad Canales de alto rendimiento especiales para una alta sensibilidad y un alto rendimiento, disponibles para B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix Argón/metano no inflamable Contador de flujo
Contador sellado
Escáner 10 º-100 º 2θ
Centelleo con una ventana de Be de 300 μm
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| Pruebas reglamentarias | Cumple con SEMI S2/S8
Cumple completamente con SECS/GEM
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Los accesorios disponibles para el 2830 ZT se enumeran a continuación.
También ofrecemos una gama de servicios analíticos, desde análisis elementales, estructurales y morfológicos hasta servicios de validación y calificación. Descubra más sobre los servicios de prueba XRF aquí.
DifferAction is an optional extension for our Wafer Analyzer 2830 ZT spectrometer platform with SuperQ software, which enables automatic wafer angle optimization for more accurate XRF analysis.
As an additional package for our Wafer Analyzer 2830 ZT platform with SuperQ software, ToolMatch makes consistent results across your equipment simple.
By calculating the regression of systematic differences in semiconductor analysis, this software enables automatic results tuning, based on the ToolMatch correction between Wafer Analyzers. It is the ideal solution for ensuring consistent results both within and across sites.
Número de versión: 4
Número de versión: 4
Número de versión: 2
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Para garantizar que su instrumento se mantenga en condiciones óptimas y funcione al más alto nivel, Malvern Panalytical ofrece una amplia gama de servicios. Nuestra experiencia y nuestros servicios de asistencia garantizan el óptimo funcionamiento de su instrumento.
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