X'Pert³

Die verbesserte X'Pert-Plattform

Die erfolgreiche X'Pert-Plattform wird mit den Röntgendiffraktometern der neuen X'Pert³-Serie von Malvern Panalytical fortgesetzt. Dank der neuen integrierten Steuerelektronik, der Einhaltung der neuesten und strengsten Röntgen- und Bewegungssicherheitsnormen und Fortschritten in Sachen Umweltfreundlichkeit und Zuverlässigkeit ist die X'Pert³-Plattform bereit für die Zukunft.

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Unterstützte Produkte

Messung: Epitaxy analysis
Interface roughness
Phase identification
Phase quantification
Reciprocal space analysis
Residual stress
Texture analysis
Thin film metrology

Wafer mapping: 100 mm

C-to-C wafer loader: No

Goniometer configuration: Horizontal goniometer, Θ-2Θ

Minimum step size: 0.0001º

Technologie: X-ray Diffraction (XRD)

X'Pert³ MRD

Messung: Epitaxy analysis
Phase identification
Phase quantification
Thin film metrology
Residual stress
Texture analysis
Reciprocal space analysis
Interface roughness

Wafer mapping: 200 mm

C-to-C wafer loader: Yes

Goniometer configuration: Horizontal goniometer, Θ-2Θ

Minimum step size: 0.0001º

Detector: PIXcel1D, PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector

X-ray tube anode material: Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo

Technologie: X-ray Diffraction (XRD)

X'Pert³ MRD XL

Messung: 3D structure / imaging
Contaminant detection and analysis
Crystal structure determination
Interface roughness
Phase identification
Phase quantification
Pore size distribution
Residual stress
Surface area
Thin film metrology

Wafer mapping: No

C-to-C wafer loader: No

Goniometer configuration: Vertical goniometer, Θ-Θ

Minimum step size: 0.001º

Detector: PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector

X-ray tube anode material: Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo, Ag

Technologie: X-ray Diffraction (XRD)

X'Pert³ Powder