X'Pert³

A plataforma X'Pert aprimorada

A bem-sucedida plataforma X'Pert é continuada pela nova linha X'Pert³ de sistemas de difração de raios X da Malvern Panalytical. Com os novos componentes eletrônicos de controle integrados, conformidade com as mais recentes e rigorosas normas de segurança de raios X e movimentos, avanços na sustentabilidade e confiabilidade, a plataforma X'Pert³ está pronta para o futuro.

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Produtos com suporte

Medição: Epitaxy analysis
Interface roughness
Phase identification
Phase quantification
Reciprocal space analysis
Residual stress
Texture analysis
Thin film metrology

Wafer mapping: 100 mm

C-to-C wafer loader: No

Goniometer configuration: Horizontal goniometer, Θ-2Θ

Minimum step size: 0.0001º

Tecnologia: X-ray Diffraction (XRD)

X'Pert³ MRD

Medição: Epitaxy analysis
Phase identification
Phase quantification
Thin film metrology
Residual stress
Texture analysis
Reciprocal space analysis
Interface roughness

Wafer mapping: 200 mm

C-to-C wafer loader: Yes

Goniometer configuration: Horizontal goniometer, Θ-2Θ

Minimum step size: 0.0001º

Detector: PIXcel1D, PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector

X-ray tube anode material: Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo

Tecnologia: X-ray Diffraction (XRD)

X'Pert³ MRD XL

Medição: 3D structure / imaging
Contaminant detection and analysis
Pore size distribution
Crystal structure determination
Surface area
Interface roughness
Residual stress
Thin film metrology
Phase quantification
Phase identification

Accuracy: 1% (non-condensing)

Tecnologia: X-ray Diffraction (XRD)

X'Pert3 Powder