Visão geral
Conheça o Wafer XRD 300: seu módulo de difração de raios X de alta velocidade para produção de wafers de 300 mm fornecendo dados essenciais em uma variedade de parâmetros fundamentais, como orientação de cristal e caraterísticas geométricas, como encaixes, planos e muito mais, projetado para caber perfeitamente em sua linha de processo.
Recursos e benefícios
Precisão ultrarrápida com nossa tecnologia de leitura patenteada
O método usado requer apenas uma leitura rotacional para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação de cristal, o que proporciona alta precisão a um tempo de medição muito baixo, no intervalo de alguns segundos.
Manuseio e classificação totalmente automatizados
O Wafer XRD 300 foi projetado para maximizar seu rendimento e produtividade. A integração total na sua automação de manuseio e classificação faz com que seja uma adição poderosa e eficiente ao seu processo.
Conectividade fácil
A poderosa automação do Wafer XRD 300 se ajusta facilmente ao seu processo novo ou existente, pois é compatível com as interfaces MES e SECS/GEM.
Alta precisão, visão mais profunda
Entenda seus materiais como nunca antes com as principais medidas do Wafer XRD 300, incluindo:
- Orientação de cristal
- Posição do encaixe, profundidade e ângulo de abertura
- Diâmetro
- Posição e comprimento planos
- Outros sensores disponíveis mediante solicitação
A inclinação típica do desvio padrão (exemplo: Si 100) para a leitura azimutal é < 0,003o.
Potente e versátil
À medida que a pesquisa de semicondutores evolui, nunca foi tão importante medir uma variedade de amostras. O Wafer XRD 300 torna a análise fácil e rápida para centenas de materiais, incluindo:
- Si
- SiC
- AlN
- Al2O3 (safira)
- GaAs
- Quartzo
- LiNbO3
- BBO
Principais aplicações
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- Produção e processamento
- Os avanços na automação estão mudando nossas indústrias, e o Wafer XRD 300 está na liderança como uma solução prática e poderosa para gerenciar medições de orientação em velocidades sem precedentes.
- Controle de qualidade
- O Wafer XRD 300 oferece eficiência e versatilidade incomparáveis para o controle de qualidade da produção, proporcionando resultados altamente precisos em menos de 10 segundos.
- É adequado para ambientes de produção de 300 mm, em que a integração na automação personalizada é fundamental.
Especificação
| Rendimento | Mais de 10.000 wafers por mês |
| Geometria do wafer | Sob demanda |
| Precisão de inclinação | 0,003 |
| Eixo XRD em relação ao encaixe/posição plana | 0,03° |
Suporte
Serviços de suporte
- Suporte remoto e por telefone
- Manutenção preventiva e verificações
- Contrato de atendimento flexível ao cliente
- Certificados de desempenho
- Upgrades de hardware e software
- Suporte local e global
Conhecimento
- Soluções prontas para metrologia de semicondutores elementares e estruturais
- Automação e consultoria
- Treinamento e formação
