Visão geral
O Wafer XRD 200 é a sua plataforma de difração de raios X de alta velocidade totalmente automatizada para produção de wafer e pesquisa como você nunca viu antes.
O Wafer XRD 200 fornece dados importantes sobre uma variedade de parâmetros essenciais, como orientação e resistividade de cristal, caraterísticas geométricas como encaixes e planos, medições de distância e muito mais, em apenas alguns segundos. Projetado para se encaixar perfeitamente em sua linha de processo.
Recursos e benefícios
Precisão ultrarrápida com tecnologia de leitura proprietária
O método requer apenas uma rotação do wafer para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação, o que proporciona alta precisão a um tempo de medição muito baixo, no intervalo de alguns segundos.
Manuseio e classificação totalmente automatizados
O Wafer XRD 200 foi projetado para otimizar seu rendimento e produtividade. A automação completa do manuseio e classificação e as ferramentas detalhadas de transmissão de dados fazem com que ele seja um elemento poderoso e eficiente em seu processo de CQ.
![Manuseio e classificação totalmente automatizados](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/de2175dc-db75-49a0-93cf-af2600f86ce8/shutterstock_2145346979_establishing-shot-dolly-inside-bright-advanced_Original%20file.jpg?quality=60)
Conectividade fácil
A poderosa automação do Wafer XRD 200 é compatível com as interfaces MES e SECS/GEM. Ele se ajusta facilmente ao seu processo novo ou existente.
![Conectividade fácil](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/d27d5799-d206-4371-a01f-add300a162ff/shutterstock_1589843431_Original%20file.jpg?quality=60)
Alta precisão, visão mais profunda
Entenda seus materiais como nunca antes com as principais medidas do Wafer XRD 200. Medidas do Wafer XRD 200:
- Orientação de cristal
- Posição do encaixe, profundidade e ângulo de abertura
- Diâmetro
- Posição e comprimento planos
- Resistividade
A inclinação típica do desvio padrão (exemplo: Si 100) para a leitura azimutal é < 0,003o, mínimo < 0,001o.
Potente e versátil
O Wafer XRD 200 possibilita uma ampla variedade de medições em alta velocidade, o que agregará valor real aos seus processos, seja em pesquisa ou produção. Mas essa não é a única maneira pela qual o Wafer XRD 200 é versátil e flexível.
O Wafer XRD 200 torna a análise fácil e rápida para centenas de amostras potenciais, incluindo:
- Si
- SiC
- AlN
- Al2O3 (safira)
- GaAs
- Quartzo
- LiNbO3
- BBO
Principais aplicações
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- Produção e processamento
- A automação é uma necessidade nessa indústria de ritmo acelerado, e o Wafer XRD 200 está na liderança como uma solução prática e poderosa para gerenciar o manuseio, a classificação e as medições em profundidade de orientação de cristal, encaixe óptico e determinação plana, medições de resistividade e outros parâmetros importantes. Experimente você mesmo o aumento da produtividade!
- Controle de qualidade
- Compreender seus materiais com precisão e rapidez é a chave para um ótimo controle de qualidade, e o Wafer XRD 200 é a solução ideal. Usando o método ultrarrápido Omega-Scan, ele determina a orientação do cristal em uma única medição, oferecendo resultados em cinco segundos. Com funcionalidade adicional, incluindo medição de resistividade e determinação de caraterísticas geométricas, o Wafer XRD 200 oferece eficiência e versatilidade incomparáveis para o controle de qualidade da produção.
- Pesquisa de materiais
- Nem todos os ambientes ocupados são um ambiente de produção. O Wafer XRD 200 está igualmente equipado para fornecer análises de alto rendimento em ambientes de P&D. Capaz de caraterizar centenas de materiais diferentes, de Si, SiC e GaAs a quartzo, LiNbO3 e BBO, o Wafer XRD 200 tem a versatilidade de apoiar sua pesquisa de materiais e inovação ajudando você a moldar o futuro da tecnologia de semicondutores.
Especificações
Rendimento | Mais de 10.000 wafers por mês |
Geometria do wafer | Sob demanda |
Precisão de inclinação | 0,003 |
Eixo XRD em relação ao encaixe/posição plana | 0,03° |
Suporte
Serviços de suporte
- Suporte remoto e por telefone
- Manutenção preventiva e verificações
- Contrato de atendimento flexível ao cliente
- Certificados de desempenho
- Upgrades de hardware e software
- Suporte local e global
Conhecimento
- Soluções prontas para metrologia de semicondutores elementares e estruturais
- Automação e consultoria
- Treinamento e formação