Suportes de amostra
Uma variedade de suportes de amostra estão disponíveis para o SDCOM, permitindo que você processe amostras menores, maiores ou irregulares facilmente.
Visão geral
A medição rápida e precisa da orientação de cristal nunca foi tão acessível: conheça o SDCOM, seu XRD compacto e fácil de usar. O método de projeção azimutal permite medições ultrarrápidas, com resultados retornados em menos de dez segundos.
Oferecendo o mais alto nível de precisão de até 0,01o, suportando uma ampla variedade de acessórios, o SDCOM é a solução ideal para muitas aplicações no processamento e pesquisa de wafer.
Recursos e benefícios
Rápido e preciso: método de leitura azimutal
O método de projeção Azimutal requer apenas uma rotação de medição para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação, entregando os resultados em 10 segundos, sem comprometer a precisão.
A amostra é girada 360o, com a fonte de raios X e o detector posicionados para atingir um determinado número de reflexões por volta. Essas reflexões permitem que a orientação da rede cristalina seja medida em relação ao eixo de rotação com uma alta precisão de até 0,01o.
Compacto e versátil
Sua forma leve e compacta garante fácil integração do SDCOM em processos de pesquisa ou indústria. O software XRD Suite é poderoso e intuitivo, tornando-o prático e fácil de operar para uma variedade de usuários.
A flexibilidade é fundamental para o SDCOM, que é especialmente claro na variedade de materiais que pode medir. Ele é capaz de medir cristais com diâmetros entre 2 mm e 300 mm
Para maior flexibilidade, o SDCOM também aceita Theta-scan. Com isso, você pode cobrir uma gama ainda maior de materiais e off-cuts.
Há também uma variedade de suportes de amostra e dispositivos de transferência que podem expandir ainda mais as possibilidades das aplicações do seu SDCOM, garantindo a compatibilidade com o seu fluxo de trabalho. Também estão disponíveis estágios manuais e motorizados de mapeamento de wafer.
Exemplos de materiais mensuráveis incluem (método de projeção azimutal):
- Orientação cúbica e arbitrária desconhecida: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Orientação cúbica e especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal e trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartzo), Al2O3 (safira), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Ortorrômbico: Mg2SiO4, NdGaO3
- Qualquer outro material cristalino único
Econômica
O tubo de raios X da SDCOM é resfriado a ar, eliminando a necessidade de um resfriador ou de um circuito arrefecedor de água. Graças à eficiência e ao pequeno impacto do SDCOM, seu consumo de energia é reduzido ao mínimo, além dos seus custos operacionais.
Principais aplicações
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- Marcação e medição das direções no plano
- O SDCOM oferece medições de orientação de cristal ultrarrápidas e altamente precisas, ideais para uma variedade de aplicações na produção e processamento de wafers, incluindo a marcação e medição de direções no plano. Leve e portátil, ele pode ser implantado onde quer que você precise dele em seu processo.
- Capaz de medir pequenos cristais de até 1 mm com alta precisão e uma ampla variedade de materiais, o SDCOM está bem posicionado para oferecer suporte às necessidades complexas e em constante mudança da indústria de semicondutores.
- Controle de qualidade da produção
- O controle de processos de rotina exige velocidade, precisão e repetibilidade, e o SDCOM oferece tudo isso. Sua velocidade de medição ultraelevada dará um impulso à sua produtividade sem causar um grande impacto nos seus custos de funcionamento, graças ao formato desktop e à ampola de raios X refrigerada a ar.
- Pesquisa de materiais
- Capaz de medir uma versátil variedade de tipos de cristal com um pequeno impacto no laboratório, o SDCOM é ideal para fluxos de trabalho de pesquisa padrão. Os custos de funcionamento são reduzidos graças ao consumo de energia minimizado e a uma ampola de raios X refrigerada a ar, sem necessidade de resfriamento a água.
- O SDCOM também é acessível e fácil de operar com manuseio manual, tornando-se uma solução prática para laboratórios de pesquisa com muitos usuários diferentes.
Especificação
| Fonte de raio X | Ampola de raios X refrigerada a ar de 30 W, ânodo de Cu |
| Detectores | Tecnologia de contador de cintilação |
| Suporte de amostra | Mesa giratória precisa, precisão de ajuste de 0,01 °, suportes de amostra personalizados e dispositivos de transferência |
| Diâmetro da amostra | Até 2 mm ø, até 200 mm |
| Temperatura ambiente | ≤ 30 °C |
| Requisitos do PC | Windows 10 ou mais recente. Atualização do .NET Framework, 2 portas Ethernet |
| Requisitos de energia | De 100 a 230 V, monofásica, 500 W |
| Dimensões | 600 mm (C) x 600 mm (L) x 840 mm (A) |
| Peso | cerca de 100 kg |
| Certificação | Fabricado de acordo com as diretrizes ISO 9001, em conformidade com a CE |
| Todos os parâmetros técnicos estão sujeitos a alterações com base em P&D | |
Acessórios
Dispositivos de transferência
Integre totalmente seu SDCOM ao seu processo adicionando acessórios de transferência dedicados, incluindo opções para a serra de fio, moagem e muito mais.
Suporte
Serviços de suporte
- Suporte remoto e por telefone
- Manutenção preventiva e verificações
- Contrato de atendimento flexível ao cliente
- Certificados de desempenho
- Upgrades de hardware e software
- Suporte local e global
Conhecimento
- Soluções prontas para metrologia de semicondutores elementares e estruturais
- Automação e consultoria
- Treinamento e formação
