SDCOM

Visão geral

A medição rápida e precisa da orientação de cristal nunca foi tão acessível: conheça o SDCOM, seu XRD compacto e fácil de usar. O método de projeção azimutal permite medições ultrarrápidas, com resultados retornados em menos de dez segundos.

Oferecendo o mais alto nível de precisão de até 0,01^o, suportando uma ampla variedade de acessórios, o SDCOM é a solução ideal para muitas aplicações no processamento e pesquisa de wafer.

Recursos e benefícios

Rápido e preciso: método de leitura azimutal

O método de projeção Azimutal requer apenas uma rotação de medição para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação, entregando os resultados em 10 segundos, sem comprometer a precisão.

A amostra é girada 360^o, com a fonte de raios X e o detector posicionados para atingir um determinado número de reflexões por volta. Essas reflexões permitem que a orientação da rede cristalina seja medida em relação ao eixo de rotação com uma alta precisão de até 0,01^o.

Rápido e preciso: método de leitura azimutal

Compacto e versátil

Sua forma leve e compacta garante fácil integração do SDCOM em processos de pesquisa ou indústria. O software XRD Suite é poderoso e intuitivo, tornando-o prático e fácil de operar para uma variedade de usuários.

A flexibilidade é fundamental para o SDCOM, que é especialmente claro na variedade de materiais que pode medir. Ele é capaz de medir cristais com diâmetros entre 2 mm e 300 mm

Para maior flexibilidade, o SDCOM também aceita Theta-scan. Com isso, você pode cobrir uma gama ainda maior de materiais e off-cuts.

Há também uma variedade de suportes de amostra e dispositivos de transferência que podem expandir ainda mais as possibilidades das aplicações do seu SDCOM, garantindo a compatibilidade com o seu fluxo de trabalho. Também estão disponíveis estágios manuais e motorizados de mapeamento de wafer.

Exemplos de materiais mensuráveis incluem (método de projeção azimutal):

Orientação cúbica e arbitrária desconhecida: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
Orientação cúbica e especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC₃C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl₂O₄, SrTiO₃, LaTiO₃
Tetragonal: MgF₂, TiO₂, SrLaAlO₄
Hexagonal e trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO₃, SiO₂ (quartzo), Al₂O₃ (safira), GaPO₄, La₃Ga₅SiO₁₄
Ortorrômbico: Mg₂SiO₄, NdGaO₃
Qualquer outro material cristalino único

Econômica

O tubo de raios X da SDCOM é resfriado a ar, eliminando a necessidade de um resfriador ou de um circuito arrefecedor de água. Graças à eficiência e ao pequeno impacto do SDCOM, seu consumo de energia é reduzido ao mínimo, além dos seus custos operacionais.

Principais aplicações

Marcação e medição das direções no plano: O SDCOM oferece medições de orientação de cristal ultrarrápidas e altamente precisas, ideais para uma variedade de aplicações na produção e processamento de wafers, incluindo a marcação e medição de direções no plano. Leve e portátil, ele pode ser implantado onde quer que você precise dele em seu processo.; Capaz de medir pequenos cristais de até 1 mm com alta precisão e uma ampla variedade de materiais, o SDCOM está bem posicionado para oferecer suporte às necessidades complexas e em constante mudança da indústria de semicondutores.

Controle de qualidade da produção: O controle de processos de rotina exige velocidade, precisão e repetibilidade, e o SDCOM oferece tudo isso. Sua velocidade de medição ultraelevada dará um impulso à sua produtividade sem causar um grande impacto nos seus custos de funcionamento, graças ao formato desktop e à ampola de raios X refrigerada a ar.

Pesquisa de materiais: Capaz de medir uma versátil variedade de tipos de cristal com um pequeno impacto no laboratório, o SDCOM é ideal para fluxos de trabalho de pesquisa padrão. Os custos de funcionamento são reduzidos graças ao consumo de energia minimizado e a uma ampola de raios X refrigerada a ar, sem necessidade de resfriamento a água.; O SDCOM também é acessível e fácil de operar com manuseio manual, tornando-se uma solução prática para laboratórios de pesquisa com muitos usuários diferentes.

Especificação

Fonte de raio X	Ampola de raios X refrigerada a ar de 30 W, ânodo de Cu
Detectores	Tecnologia de contador de cintilação
Suporte de amostra	Mesa giratória precisa, precisão de ajuste de 0,01 °, suportes de amostra personalizados e dispositivos de transferência
Diâmetro da amostra	Até 2 mm ø, até 200 mm
Temperatura ambiente	≤ 30 °C
Requisitos do PC	Windows 10 ou mais recente. Atualização do .NET Framework, 2 portas Ethernet
Requisitos de energia	De 100 a 230 V, monofásica, 500 W
Dimensões	600 mm (C) x 600 mm (L) x 840 mm (A)
Peso	cerca de 100 kg
Certificação	Fabricado de acordo com as diretrizes ISO 9001, em conformidade com a CE
Todos os parâmetros técnicos estão sujeitos a alterações com base em P&D

Acessórios

Uma variedade de suportes de amostra estão disponíveis para o SDCOM, permitindo que você processe amostras menores, maiores ou irregulares facilmente.

Suportes de amostra

Integre totalmente seu SDCOM ao seu processo adicionando acessórios de transferência dedicados, incluindo opções para a serra de fio, moagem e muito mais.

Dispositivos de transferência