Omega/Theta

Visão geral

O Omega/Theta é seu parceiro confiável e pronto para o futuro para determinar a orientação de cristais no cenário de semicondutores em rápida evolução. A precisão líder de mercado, a velocidade de medição super-rápida e a qualidade de construção de ponta são combinadas com o poder da automação, oferecendo eficiência e precisão incomparáveis para orientação e alinhamento de cristais em aplicações industriais e de pesquisa

Recursos e benefícios

Ultrarrápido e preciso: Método de projeção Azimutal

O método de projeção Azimutal requer apenas uma rotação de medição para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação, entregando os resultados em 10 segundos, sem comprometer a precisão.

A amostra é girada 360^o, com a fonte de raios X e o detector posicionados para atingir um determinado número de reflexões por volta. Essas reflexões permitem que a orientação da rede cristalina seja medida em relação ao eixo de rotação com alta precisão de até 0,003^o.

Fácil de usar

Todas as medições no Omega/Theta são automatizadas e gerenciadas a partir do software XRD, que é conveniente e oferece medições prontas e fáceis baseadas em receitas para fluxo de trabalho de rotina.

O instrumento pode ser facilmente integrado em processos existentes em ambientes de produção usando suas várias interfaces MES, SECS/GEM e similares.

Caracterizar uma variedade de materiais

O Omega/Theta pode ser usado para caracterizar quaisquer materiais monocristalinos. Materiais comumente usados incluem:

Orientação cúbica e arbitrária desconhecida: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
Orientação cúbica e especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC₃C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl₂O₄, SrTiO₃, LaTiO₃
Tetragonal: MgF₂, TiO₂, SrLaAlO₄
Hexagonal e trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO₃, SiO₂ (quartzo), Al₂O₃ (safira), GaPO₄, La₃Ga₅SiO₁₄
Ortorrômbico: Mg₂SiO₄, NdGaO₃
Qualquer outro material cristalino único

Manuseio de amostras prático e flexível

Nossa ampla gama de acessórios aumenta a produtividade do Omega/Theta em uma variedade de aplicações, desde a perfuração de sementes até a moagem de massas fundidas, fatiamento e controle da extremidade do wafer. Tudo para que você tenha flexibilidade mesmo se essas necessidades mudarem ao longo do tempo.

Com suportes de amostras especializados para satisfazer qualquer necessidade, desde grandes lingotes a placas minúsculas, o Omega/Theta pode acomodar diversos tamanhos de amostras – agregando valor à produção e à pesquisa.

Estágio automático de mapeamento X-Y para mapear a orientação do cristal ou distorções de superfície em uma grade definida pelo usuário
Estágio de empilhamento para alinhar lingotes antes de serrar
Eixo de rotação adicional da amostra
Equipamento de ajuste de amostras
Existem muitas outras soluções de engenharia personalizadas!

Com suportes de amostras personalizados para atender a qualquer necessidade, desde grandes lingotes a pequenos cilindros, o Omega/Theta pode acomodar uma grande variedade de tamanhos de amostra, garantindo que está igualmente em casa em um fluxo de trabalho de produção como na pesquisa.

Principais aplicações

Produção: O Omega/Theta foi projetado para fabricantes. É ideal para a orientação e alinhamento ultrarrápidos de vários tipos de cristal na produção, para marcar direções no plano ou verificar a orientação de planos ou encaixes. Também é ideal para o controle de qualidade da produção, graças às suas altas velocidades de produção e capacidades de automação.; Os extras opcionais, como um estágio de empilhamento para alinhar lingotes antes de serrar e uma ferramenta de curva de oscilação para medições de qualidade, fazem do Omega/Theta um parceiro versátil para aplicações de produção.

Pesquisa de materiais: A elevada precisão e flexibilidade do Omega/Theta faz com que ele seja ideal para a pesquisa de materiais, uma vez que pode acomodar uma variedade de amostras de até 30 kg e 450 mm de comprimento, com estágios adicionais disponíveis para amostras maiores ou mais complexas.; É capaz de caracterizar uma ampla variedade de materiais, tornando-o altamente valioso para os seus processos de P&D. O Theta Scan flexível abre um mundo de possibilidades de medição.

Especificação

Especificação técnica
Fonte de raio X	Ampola de raios X padrão, ânodo de Cu
Detector	Contador de cintilação (simples ou duplo)
Suporte de amostra	Mesa giratória precisa, placa de montagem e ferramentas para ajuste de amostras
Colimador de cristal	Disponível
Mapeamento	Estágio de mapeamento de serviço pesado disponível
Software	XRDStudio
Refrigeração a água	Fluxo – 4l/min, pressão máx. de 8 bar, T ≤ 30 °C
Estação de trabalho do PC	Windows 7 ou mais recente, atualização do .NET Framework
Dimensões	A 1950 mm x P 820 mm x L 1200 mm
Peso	cerca de 650 kg
Requisito de energia	208-240 V, 16 A monofásica, 50-60 Hz
Certificação	Fabricado de acordo com as diretrizes ISO 9001, em conformidade com a CE

Acessórios

Meça uma variedade mais ampla de tamanhos de amostra em diferentes estágios do processo com plataformas de amostras adicionais projetadas para acomodar cristais menores ou maiores que a média.

Plataformas da amostra adicionais

Manuseie facilmente seus vários tipos de amostras com ferramentas de ajuste de amostras dedicadas.

Equipamento de ajuste de amostras

Mapeie facilmente a orientação do cristal ou distorções de superfície em uma grade definida pelo usuário usando um estágio de posicionamento X-Y adicional acima da mesa giratória. O estágio de mapeamento permite uma exploração abrangente de toda a superfície da amostra através de uma leitura personalizável da superfície.

Estágio automático de mapeamento X-Y

Alinhe com precisão os lingotes antes de serrar e melhore a utilização da ferramenta. O estágio de empilhamento eficiente alinha lingotes durante a leitura azimutal, antes de transferir a pilha completa para a serra de fio. Esse método de serragem paralela é altamente eficiente.

Estágio de empilhamento

Medições de controle de qualidade rápidas e precisas para processos de produção. A curva de oscilação, indicativa da qualidade da cela, pode ser avaliada rapidamente ponto a ponto ou em conjunto com uma ferramenta de mapeamento para um mapa de qualidade. A óptica é automatizada para alternar facilmente entre ligar e desligar.

Capacidade de curva de balanço