Plataformas da amostra adicionais
Meça uma variedade mais ampla de tamanhos de amostra em diferentes estágios do processo com plataformas de amostras adicionais projetadas para acomodar cristais menores ou maiores que a média.
O Omega/Theta oferece o máximo em precisão e velocidade combinadas para determinar a orientação da rede cristalina. Ele possui muitos acessórios de processo, desde leitores de código de barras a tabelas de mapeamento e um quadro de empilhamento de cristal. Omega/Theta é o seu parceiro confiável para encontrar a orientação dos cristais e transferir para a próxima etapa de processamento.
Baixar catálogoO Omega/Theta é seu parceiro confiável e pronto para o futuro para determinar a orientação de cristais no cenário de semicondutores em rápida evolução. A precisão líder de mercado, a velocidade de medição super-rápida e a qualidade de construção de ponta são combinadas com o poder da automação, oferecendo eficiência e precisão incomparáveis para orientação e alinhamento de cristais em aplicações industriais e de pesquisa
O método de projeção Azimutal requer apenas uma rotação de medição para reunir todos os dados necessários para determinar totalmente a orientação, entregando os resultados em 10 segundos, sem comprometer a precisão.
A amostra é girada 360o, com a fonte de raios X e o detector posicionados para atingir um determinado número de reflexões por volta. Essas reflexões permitem que a orientação da rede cristalina seja medida em relação ao eixo de rotação com alta precisão de até 0,003o.
Todas as medições no Omega/Theta são automatizadas e gerenciadas a partir do software XRD, que é conveniente e oferece medições prontas e fáceis baseadas em receitas para fluxo de trabalho de rotina.
O instrumento pode ser facilmente integrado em processos existentes em ambientes de produção usando suas várias interfaces MES, SECS/GEM e similares.
O Omega/Theta pode ser usado para caracterizar quaisquer materiais monocristalinos. Materiais comumente usados incluem:
Nossa ampla gama de acessórios aumenta a produtividade do Omega/Theta em uma variedade de aplicações, desde a perfuração de sementes até a moagem de massas fundidas, fatiamento e controle da extremidade do wafer. Tudo para que você tenha flexibilidade mesmo se essas necessidades mudarem ao longo do tempo.
Com suportes de amostras especializados para satisfazer qualquer necessidade, desde grandes lingotes a placas minúsculas, o Omega/Theta pode acomodar diversos tamanhos de amostras – agregando valor à produção e à pesquisa.
Com suportes de amostras personalizados para atender a qualquer necessidade, desde grandes lingotes a pequenos cilindros, o Omega/Theta pode acomodar uma grande variedade de tamanhos de amostra, garantindo que está igualmente em casa em um fluxo de trabalho de produção como na pesquisa.
Especificação técnica | |
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Fonte de raio X | Ampola de raios X padrão, ânodo de Cu |
Detector | Contador de cintilação (simples ou duplo) |
Suporte de amostra | Mesa giratória precisa, placa de montagem e ferramentas para ajuste de amostras |
Colimador de cristal | Disponível |
Mapeamento | Estágio de mapeamento de serviço pesado disponível |
Software | XRDStudio |
Refrigeração a água | Fluxo – 4l/min, pressão máx. de 8 bar, T ≤ 30 °C |
Estação de trabalho do PC | Windows 7 ou mais recente, atualização do .NET Framework |
Dimensões | A 1950 mm x P 820 mm x L 1200 mm |
Peso | cerca de 650 kg |
Requisito de energia | 208-240 V, 16 A monofásica, 50-60 Hz |
Certificação | Fabricado de acordo com as diretrizes ISO 9001, em conformidade com a CE |
Meça uma variedade mais ampla de tamanhos de amostra em diferentes estágios do processo com plataformas de amostras adicionais projetadas para acomodar cristais menores ou maiores que a média.
Manuseie facilmente seus vários tipos de amostras com ferramentas de ajuste de amostras dedicadas.
Mapeie facilmente a orientação do cristal ou distorções de superfície em uma grade definida pelo usuário usando um estágio de posicionamento X-Y adicional acima da mesa giratória. O estágio de mapeamento permite uma exploração abrangente de toda a superfície da amostra através de uma leitura personalizável da superfície.
Alinhe com precisão os lingotes antes de serrar e melhore a utilização da ferramenta. O estágio de empilhamento eficiente alinha lingotes durante a leitura azimutal, antes de transferir a pilha completa para a serra de fio. Esse método de serragem paralela é altamente eficiente.
Medições de controle de qualidade rápidas e precisas para processos de produção. A curva de oscilação, indicativa da qualidade da cela, pode ser avaliada rapidamente ponto a ponto ou em conjunto com uma ferramenta de mapeamento para um mapa de qualidade. A óptica é automatizada para alternar facilmente entre ligar e desligar.
Um leitor a laser opcional possibilita a medição da forma precisa da amostra, oferecendo-lhe uma visão mais profunda dos seus materiais.
Processos inteligentes e eficientes são a sua vantagem em uma indústria em constante mudança, e eles começam com o Omega/Theta. Orientação de cristal totalmente automatizada e alinhamento na velocidade mais alta.