Para análise de espessura e composição de filme fino
Filmes finos e materiais em camadas são onipresentes. Eles têm incontáveis aplicações, desde joias, aços revestidos ou outros metais até circuitos integrados, para mencionar alguns. Na produção de filmes finos e multicamadas, o controle preciso da espessura e da composição é geralmente essencial.
Combinando excelente reprodutibilidade com uma medição não destrutiva, FRX é uma técnica altamente valiosa para análise da composição e da espessura de filmes finos. A reprodutibilidade de uma medida de espessura por FRX pode ser tão boa quando ±1 Ångstrom.
Tradicionalmente, o processo de calibração de FRX para análise de filme fino é desafiador, especificamente para estruturas multicamadas. Em geral, amostras de calibração são necessárias com uma estrutura e uma composição similares como as amostras a serem analisadas. Essas amostras de calibração são normalmente caras e difíceis de obter, se disponíveis.
O Stratos aumenta ainda mais o valor de XRF no seu processo de metrologia de filmes finos simplificando e aprimorando bastante a flexibilidade do processo de calibração de XRF. O Stratos permite o uso de amostras de calibração diferentes diante de incertezas, e permite até mesmo o uso de materiais em lote para calibrar filmes finos e análises multicamadas.
O Stratos inclui o Virtual Analyst, que permite simular a resposta de FRX para estruturas complexas, demonstrando imediatamente quais linhas fluorescentes são mais bem usadas para medir as variações nos níveis de espessura e concentração relevantes para suas camadas.
Isso simplifica bastante a configuração do método para análise de filme fino.
O módulo Stratos é composto por uma licença de software para instrumentos de FRX da Malvern Panalytical, incluindo Zetium, Axios ou MagiX e a linha de bancada Epsilon.
Ele pode ser combinado perfeitamente com o Omnian. Para sistemas que tenham o Omnian instalado, a configuração do Omnian pode ser usada diretamente para análise de filme fino usando o Stratos.
Para sistemas sem o Omnian instalado, as amostras de configuração do Omnian podem ainda ser usadas para configurar o Stratos.
O módulo pode ser fornecido com novos sistemas e também reequipar instrumentos existentes que executam o software SuperQ ou Epsilon.
