La nouvelle plateforme améliorée X’Pert³
Les systèmes X'Pert³ MRD offrent des solutions avancées et innovantes de diffraction des rayons X, de la recherche au développement et au contrôle des processus.
Les fonctionnalités incluent
Une plate-forme de montage PreFIX supplémentaire permet le montage en ligne d'un miroir à rayons X et d'un monochromateur haute résolution, augmentant ainsi considérablement l'intensité du faisceau incident.
Les fonctionnalités incluent
X'Pert³ MRDLa nouvelle génération de diffractomètres polyvalents pour la recherche en matériaux |
X'Pert3 MRD (XL)La nouvelle génération de diffractomètres polyvalents pour la recherche en matériaux |
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|---|---|---|
| Technologie | ||
| Diffraction des rayons X (XRD) | ||
| Type de mesure | ||
| Identification de phase | ||
| Quantification de la phase | ||
| Métrologie des couches minces | ||
| Contraintes résiduelles | ||
| Rugosité de l'interface | ||
| Analyse de l'épitaxie | ||
| Analyse de texture | ||
| Analyse de réseau réciproque | ||
| Wafer max. diameter | 100 mm | 300 mm |
| SECS/GEM | ||
| Cleanroom ISO 4 | ||
