L'analyseur de wafer 2830 ZT à fluorescence X à dispersion de longueur d'onde dispose des dernières technologies en matière de mesure d'épaisseur de film et de composition. Spécifiquement conçu pour l'industrie des semi-conducteurs et du stockage de données, l'analyseur de wafer 2830 ZT permet de déterminer la composition des couches, leur épaisseur, le niveau des dopants et l'uniformité de la surface pour une large gamme de wafers jusqu'à 300 mm.
Télécharger la brochureLe tube à rayons X SST-mAX 4 kW utilise la nouvelle technologie ZETA qui élimine les effets de vieillissement du tube. Les performances de ce « nouveau tube » sont maintenues pendant toute la durée de vie de l'instrument. La technologie ZETA garantit une sensibilité élevée et peu de dérive pendant toute la durée de vie du tube. La technologie ZETA réduit tout besoin de correction de dérive et de réétalonnage, et par conséquent augmente la productivité et l'uptime de l'instrument.
Les tubes à rayons X traditionnels subissent une évaporation du tungstène, ce qui provoque des dépôts à l'intérieur de la fenêtre béryllium du tube. Tous les instruments utilisant des tubes à rayons X nécessitent une correction régulière des dérives qui vise à compenser la diminution de l'intensité, en particulier pour les éléments légers.
L'installation du tube SST-mAX dans le système 2830 ZT résout le problème de dérive : l'uptime de l'instrument et sa précision sont maintenus tout au long de sa durée de vie.
Le système 2830 ZT est fourni avec le logiciel avancé SuperQ qui inclut FP Multi, un logiciel spécifiquement conçu pour l'analyse multicouche. Grâce à l'interface utilisateur du logiciel, même les utilisateurs novices peuvent réaliser des analyses des multicouches entièrement automatisées avec les paramètres fondamentaux.
Le logiciel SuperQ de l'appareil présente une large gamme de modules conviviaux destinés à une utilisation plus spécifique par les chercheurs et les ingénieurs. Le changement de recette tout comme l'adaptation des paramètres de l'équipement aux préférences de l'utilisateur sont des opérations simples.
Le système FALMO-2G s'intègre facilement dans tout laboratoire ou site de production, à chargement manuel ou entièrement automatisé. Sa conception adaptable permet au responsable de production de choisir les dispositifs d'ouverture FOUP ou SMIF, ou encore les dispositifs de chargement par cassette à un ou deux ports de chargement. Les différentes configurations du système FALMO-2G sont toutes prises en charge par le logiciel conforme GEM300. L'encombrement du FALMO-2G a été réduit, sans compromettre la flexibilité et la fonctionnalité.
Le logiciel SuperQ de l'appareil présente une large gamme de modules conviviaux destinés à une utilisation plus spécifique par les chercheurs et les ingénieurs. Le changement de recette tout comme l'adaptation des paramètres de l'équipement aux préférences de l'utilisateur sont des opérations simples.
| Taille d'échantillon | Wafers de 100 - 300 mm par chargement direct ; adaptateurs spéciaux pour les wafers de plus petite taille |
|---|---|
| Types d'échantillons | Options de chargement automatique FOUP, SMIF, par cassette et de chargement manuel disponibles |
| Débit | Cadence jusqu'à 25 wafers par heure |
| Compatibilité du système | SST-mAX75, tube à fenêtre frontale super profilé, SST-mAX50 en option |
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| Gamme de tailles | Surface de mesure de 40 et 10 mm ; autres surfaces de mesure possibles |
| Technologie | Technologie Zeta |
| Voies | Jusqu'à 24 canaux fixes
Taille 2 goniomètres Canal très hautes performances dédié au bore pour une sensibilité accrue et un débit maximal Canaux hautes performances spéciaux pour une sensibilité et un débit élevés disponibles pour B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix Argon/méthane ininflammable Flux gazeux
Détecteur scellé
Scanner 10 º-100 º 2θ
Scintillateur avec fenêtre en béryllium de 300 µm
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| Tests réglementaires | Conforme SEMI S2/S8
Entièrement conforme à la norme SECS/GEM
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Les accessoires disponibles avec le 2830 ZT sont listés ci-dessous.
Nous proposons également une gamme de services analytiques, allant de l’analyse élémentaire, structurelle et morphologique aux services de validation et qualification. Découvrez-en plus sur les services de test XRF ici.
DifferAction is an optional extension for our Wafer Analyzer 2830 ZT spectrometer platform with SuperQ software, which enables automatic wafer angle optimization for more accurate XRF analysis.
As an additional package for our Wafer Analyzer 2830 ZT platform with SuperQ software, ToolMatch makes consistent results across your equipment simple.
By calculating the regression of systematic differences in semiconductor analysis, this software enables automatic results tuning, based on the ToolMatch correction between Wafer Analyzers. It is the ideal solution for ensuring consistent results both within and across sites.
Numéro de version: 4
Numéro de version: 4
Numéro de version: 2
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