Pour l'analyse de l'épaisseur et de la composition de couches minces
Les couches minces et les matériaux stratifiés sont omniprésents. Ils ont d'innombrables applications, allant de la bijouterie, des aciers enduits ou autres métaux aux circuits intégrés, pour n'en mentionner que quelques-uns. Dans le cadre de la production de couches minces et de couches multiples, le contrôle précis de l'épaisseur et de la composition est souvent essentiel.
Associant une excellente reproductibilité à une mesure non destructive, la spectrométrie de fluorescence X est une technique très utile pour l'analyse de la composition et de l'épaisseur des couches minces. La reproductibilité d'une mesure d'épaisseur par spectrométrie de fluorescence X peut être aussi précise que ±1 Ångström.
Le processus de calibration XRF pour l'analyse de couches minces a toujours été complexe, en particulier pour les structures multicouches. En général, les échantillons de calibration doivent être dotés d'une structure et d'une composition semblables aux échantillons à analyser. Ces échantillons de calibration sont généralement coûteux et difficiles à obtenir, le cas échéant.
Le module Stratos améliore la valeur de la spectrométrie de fluorescence X dans votre processus de métrologie des couches minces en simplifiant considérablement et en améliorant la flexibilité du processus de calibration XRF. Le module Stratos permet l'utilisation d'échantillons de calibration autres qu'inconnus, mais aussi l'utilisation de matériaux en vrac pour calibrer l'analyse des couches minces et des couches multiples.
Le module Stratos inclut Virtual Analyst qui permet de simuler la réponse XRF pour des structures complexes, démontrant immédiatement quelles lignes fluorescentes sont les plus efficaces pour mesurer les variations d'épaisseur et les niveaux de concentration pertinents pour vos couches.
Cette méthode simplifie fortement la configuration de la méthode pour l'analyse de couches minces.
Le module Stratos comprend une licence logicielle pour les instruments XRF de Malvern Panalytical, notamment les gammes Zetium, Axios ou MagiX et les systèmes de paillasse Epsilon.
Il peut être combiné en toute transparence à Omnian. Pour les systèmes équipés du module Omnian, la configuration de ce dernier peut être utilisée directement pour l'analyse de couches minces à l'aide du module Stratos.
Pour les systèmes non équipés du module Omnian, les échantillons de configuration du module Omnian peuvent toujours être utilisés pour configurer le module Stratos.
Le module peut être fourni avec de nouveaux systèmes, mais également être réinstallé sur des instruments existants exécutant le logiciel SuperQ ou Epsilon.
